真空系統是真空電鍍機的核心組成部分，操作人員需要熟悉各真空泵的啟動順序和配合關系，以縮短抽氣時間并保護設備。

日常開機時，首先啟動冷卻水循環系統。冷卻水對擴散泵、分子泵以及鍍膜源的冷卻至關重要，水壓和水流量應保持在規定范圍內。檢查水路有無泄漏，各進水閥處于開啟狀態。然后啟動機械泵，打開粗抽閥，將真空室從大氣壓抽至低真空。機械泵工作時會產生振動和噪音，應將其放置在減震基座上，排氣管應通向室外。

當真空度達到約5帕時，可以開啟羅茨泵。羅茨泵不能在常壓下啟動，否則會因過載而發熱甚至損壞。羅茨泵啟動后，抽氣速度顯著提高，真空度快速下降。此時需要觀察羅茨泵的溫升，若溫度過高應檢查前級管路是否通暢。對于配備分子泵的系統，還需要在羅茨泵工作一段時間后，待真空度進入帕級范圍再啟動分子泵。分子泵屬于高速旋轉設備，啟動過程中需傾聽聲音，確認無異常振動。

擴散泵的啟動需要更長的預熱時間。擴散泵油加熱至工作溫度約需30分鐘，期間應保持前級機械泵持續運轉。操作人員可通過觀察擴散泵頂部的溫度計或熱電偶讀數來判斷是否達到工作狀態。在擴散泵預熱期間，可以關閉粗抽閥，只通過旁通管路維持低真空。當擴散泵準備就緒后，打開高真空閥，真空度會迅速進入10^-3帕甚至更高。

在鍍膜過程中，工藝氣體通過質量流量計通入，真空度會有所回升。操作人員需要密切監視真空計讀數，根據工藝要求調節氣體流量。對于反應鍍膜，反應氣體與工作氣體的比例需要精確控制，真空度的波動會直接影響膜層成分和顏色。當鍍膜結束后，首先關閉工藝氣體，關閉高真空閥，然后關閉擴散泵或分子泵的加熱，讓它們自然冷卻。在擴散泵未冷卻至80度以下時，不得關閉機械泵，防止泵油倒流污染真空室。

停機的順序與開機相反。關閉高真空閥后，機械泵繼續運行一段時間，待擴散泵降溫，最后關閉機械泵和冷卻水。在整個抽氣和放氣過程中，操作人員應避免頻繁開啟真空室門，以防止水汽和灰塵進入。每次打開真空室后，應對密封圈進行檢查和清潔，涂抹少量真空脂，以保持良好的密封性能。

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