CCZK-DLC 類(lèi)金剛石鍍膜設(shè)備

搭載非平衡閉合磁控濺射、FCVA 過(guò)濾陰極電弧兩類(lèi)工藝，可在低溫條件下制備含氫、無(wú)氫 DLC 涂層，膜層摩擦系數(shù)偏低，具備減磨、自潤(rùn)滑理化特征。

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核心優(yōu)勢(shì)

1.涂層摩擦系數(shù)≤0.15，自帶自潤(rùn)滑效果，可減少外部潤(rùn)滑介質(zhì)使用

2.無(wú)氫 ta-C 涂層硬度可達(dá) 63GPa，具備良好耐摩擦表現(xiàn)

3.沉積溫度區(qū)間控制在 100~200℃，適配受熱易變形的基材加工

4.膜層結(jié)構(gòu)緊實(shí)，可耐受酸堿環(huán)境、鹽霧腐蝕工況

核心技術(shù)

1.自有 DLC 配套工藝方案，降低膜層內(nèi)應(yīng)力，減少開(kāi)裂、膜層剝離現(xiàn)象

2.可移出式三維工裝轉(zhuǎn)架，工件裝取操作簡(jiǎn)單，適配多種尺寸零部件

3.配套全自動(dòng)控制系統(tǒng)，各類(lèi)成熟工藝參數(shù)可一鍵調(diào)用

4.支持多款 DLC 膜層制備，匹配不同產(chǎn)品加工工況需求

設(shè)備參數(shù)

型號(hào)	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
腔體尺寸	D1000mm*H1200mm	D1400mm*H1600mm
負(fù)載功率	140KW	170KW
占地面積	L5400mmW5200mmH2900mm	L6155mmW5050mmH3210mm
可鍍顏色	黑色、深灰色、啞光黑,七彩
可鍍膜層	含氫 DLC、無(wú)氫 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C；硬度 1500HV~63GPa，摩擦系數(shù)≤0.15
真空系統(tǒng)	擴(kuò)散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵（深冷系統(tǒng)可選）
極限真空	5*10??Pa
轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)	行星自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)系統(tǒng) 6/8/10/12/16軸
鍍膜系統(tǒng)	CKB?平面濺射陰極 / CKB?圓柱濺射陰極 / IET?離子蝕刻源 / 分布式 MFC 氣路 / HIPIMS 濺射
電源	脈沖直流濺射電源 / 雙極濺射電源 / 射頻濺射電源 / 脈沖偏壓電源 / HIPIMS 電源 / IET?蝕刻源電源
操作系統(tǒng)	全自動(dòng)（IPC/PLC）+遠(yuǎn)程操作+報(bào)警系統(tǒng) （支持OPC-UA Link協(xié)議）
備注	具體配置大小均可根據(jù)客戶(hù)的鍍膜產(chǎn)品要求進(jìn)行設(shè)計(jì)

核心應(yīng)用

適配發(fā)動(dòng)機(jī)活塞、滑動(dòng)密封配件、有色金屬切削刀具、醫(yī)療器件、手機(jī)精密零部件、金屬表帶、首飾制品鍍膜加工，可制備含氫 DLC、無(wú)氫 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C 多種涂層，呈現(xiàn)黑色、深灰色、啞光黑、七彩外觀效果。膜層硬度區(qū)間 1500HV~63GPa，摩擦系數(shù)≤0.15。