CCZK-HT超硬質工具鍍膜設備

集成磁過濾多弧離子鍍與非平衡磁控濺射工藝，適配切削刀具、精密模具鍍膜加工，制備耐高溫、抗腐蝕硬質膜層，改善工件使用周期。

聯系地址：江蘇省南通市通州灣示范區大豫鎮江新路16號

1.搭載磁過濾除滴結構，減少涂層表面大顆粒析出，優化表層狀態，提升工件耐磨表現

2.采用雙磁場離子刻蝕結構，提升膜層與基材結合效果，降低膜層脫落概率

3.配套耐高溫鍍膜工藝，膜層耐受溫度可達 1100℃，適配高速干式切削加工工況

4.適配多種金屬基材，可覆蓋多類零部件鍍膜加工需求

1.膜層硬度區間 1800~3500HV，膜層具備耐磨損、抗高溫氧化、耐化學腐蝕四類理化特性

2.配備行星公自轉工裝架，異形工件各面均可形成均勻膜層

3.多靶位布局設計，支持多層梯度復合膜層制備

4.搭載閉環溫控模塊，鍍膜加工溫度可精準調節

型號	CCZK-700-HT	CCZK-1000-HT
腔體尺寸	D700mm*H700mm	D1000mm*H1000mm
負載功率	140KW	170KW
占地面積	L4460mmW4340mmH2290mm	L5200mmW4800mmH2700mm
可鍍模層	TiN、CrN、AlTiN、AlCrN、TiSiN、AlCrSiN；硬度 1800~3500HV，最高耐溫 1100℃
真空系統	擴散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵（深冷系統可選）
轉動系統	行星自轉和公轉系統 6/8/10/12/16軸
極限真空	5*10??Pa
鍍膜系統	BTA?彎管式過濾電弧陰極 IET?離子蝕刻源分布式MFC氣路陽極層線型離子源
電源	脈沖弧電源/脈沖偏壓電源/等離子體電源/HIPIMS電源/IET?蝕刻源電源
操作系統	全自動（IPC/PLC）+遠程操作+報警系統（支持OPC-UA Link協議）
備注	具體配置大小均可根據客戶的鍍膜產品要求進行設計