CCZK-OGS光學精密鍍膜設備
集成電子束蒸發、磁控濺射復合工藝，搭配離子源輔助沉積單元，適配多層精密光學膜層加工，可制備均勻、雜質含量低、厚度偏差可控的光學膜層。
聯系地址：江蘇省南通市通州灣示范區大豫鎮江新路16號
1.配置境外品牌膜厚監測組件，厚度控制精度≤±1%，批次膜層加工一致性較好
2.前置離子源清洗工序，改善膜層與基材結合效果
3.設備工作區間真空度較高，減少膜層雜質生成，提升光學成品通過率
4.支持多種光學鍍膜工藝方案，適配多款光學元件加工需求
1.搭載晶控、光控兩套膜厚監測模式，采用全自動閉環調節程序
2.立式一體化機身布局，場地占用適中，操作流程簡易
3.離子源同步輔助沉積，膜層結構緊實，與基材結合穩定
4.配備手動、全自動兩種運行模式，兼顧樣品研發與批量生產
| 型號 | CCZK-1350-OGS | CCZK-1600-OGS | CCZK-2050-OGS |
| 腔體尺寸 | D1350mm*H1350mm | D1600mm*H1500mm | D2050mm*H1600mm |
| 負載功率 | 67KW | 86KW | 105KW |
| 占地面積 | L5700mm*W4900mm*H3050mm | L6800mm*W5800mm*H6780mm | L8300mm*W7000mm*H4200mm |
| 可鍍模層 | AR 增透膜、AF 防指紋膜、高反射膜、濾光膜、BBAR 寬帶增透膜；AF 膜硬度≥6H，光學膜層致密無針孔 | ||
| 真空系統 | 擴散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵（深冷系統可選） | ||
| 極限真空 | 5*10??Pa | ||
| 轉動系統 | 行星自轉和公轉系統 6/8/10/12/16軸 | ||
| 鍍膜系統 | E型電子束 霍爾離子源 分布式 MFC 氣路 CTM? 石英晶體膜厚監測儀 | ||
| 電源 | 電子束電源 等離子體電源 | ||
| 操作系統 | 全自動（IPC/PLC）+遠程操作+報警系統（支持OPC-UA Link協議） | ||
| 備注 | 具體配置大小均可根據客戶的鍍膜產品要求進行設計 | ||
適配手機攝像鏡片、光學鏡頭、眼鏡鏡片、車載顯示玻璃、VR/AR 光學元器件、精密濾光片鍍膜加工，可制備 AR 增透膜、AF 防指紋膜、高反射膜、濾光膜、BBAR 寬帶增透膜。AF 膜硬度≥6H，光學膜層結構緊實，可減少針孔缺陷。
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